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耐磨板的熱處理工藝對組織結(jié)構(gòu)影響:隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致信號傳輸延時、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問題,為了解決這一問題,多孔低(超低)k介電材料越來越引起人們的注意。通過在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400~450℃的熱沖擊,因此首先對不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳?xì)浠鶊F(tuán)的熱解吸以及結(jié)構(gòu)的重組降低了薄膜的厚度,并且熱解吸還導(dǎo)致薄膜的疏水性能降低。其次真空熱處理降低了薄膜的漏電流,并且使SiCOH/Si界面的界面態(tài)發(fā)生改變。
NM400耐磨板在500一650℃進(jìn)行.得到回火索氏體組織,具有較高的強(qiáng)度和韌性相配合的綜合力學(xué)性能。生產(chǎn)中把淬火后再進(jìn)行高溫回火的處理稱為調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)處理主要用于各種重要的結(jié)構(gòu)零件,使耐磨板的強(qiáng)度、塑性、韌性達(dá)到恰當(dāng)?shù)呐浜希哂辛己玫木C合力學(xué)性能。特別是在交變載荷下工作的連桿、螺栓、螺母、曲軸和齒輪等零件。調(diào)質(zhì)處理還可作為某些精密零件,如絲杠、量具、模具等的預(yù)備熱處理,以減少終處理過程中的變形。調(diào)質(zhì)鋼調(diào)質(zhì)處理后的硬度為25一35HRC。
NM400耐磨板回火時的組織轉(zhuǎn)變與正火相比.在相同的硬度下,強(qiáng)度、塑性和韌性均顯著高于正火狀態(tài)。因此,重要構(gòu)件般均用調(diào)質(zhì)處理。調(diào)質(zhì)還常作為表面強(qiáng)化件的預(yù)備熱處理。
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耐磨板的流動性。它是指50只粉末在粉末流動儀中自由下降至流完后所需的時間。時間越短,流動性越好。流動性好的粉末有利于快速連續(xù)裝粉及復(fù)雜零件的均勻裝粉。耐磨板的壓制性。粉末的壓制性包括壓縮性與成形性。壓縮性的好壞決定壓坯的強(qiáng)度與密度,通常用壓制前后粉末體的壓縮比表示。粉末壓縮性主要受粉末硬度、塑性變形能力與加工硬化性決定。經(jīng)退火后的粉末壓縮性較好。為保證壓坯品質(zhì),使其具有一定的強(qiáng)度,且便于生產(chǎn)過程中的運輸,粉末需有良好的成形性。成形性與粉末的物理性質(zhì)有關(guān),此外還受到粒度、粒形與粒度組成的影響。為了改善成形性,常在粉末中加入少量潤滑劑如硬脂酸鋅、石蠟、橡膠等。通常用壓坯的抗彎強(qiáng)度或抗壓強(qiáng)度作為成形性試驗的指標(biāo)。
新鋼nm360耐磨板的鑄造工藝措施。由于金屬型導(dǎo)熱速度快,沒有退讓性和透氣性,為了確保一分塊獲得優(yōu)質(zhì)鑄件和延長金屬型的使用壽命,必須采取下列工藝措施:對耐磨板金屬型進(jìn)行預(yù)熱后再澆注,預(yù)熱溫度不低于150℃;耐磨板金屬型澆注時,合金的澆注溫度和澆注速度必須適當(dāng);及時開型取件。因金屬型無退讓性,除在澆注時正確選定澆注溫度和澆注速度外,澆注后,如果鑄件在鑄型中停留時間過長,鑄件不宜取出且易引起過大的鑄造應(yīng)力而導(dǎo)致鑄件開裂。因此,當(dāng)鑄件冷卻到塑性變形溫度范圍,并有足夠的強(qiáng)度時,就可抽芯取件。通常鑄鐵件出型溫度為800一950℃,開型時間為10一60s;耐磨板金屬型在生產(chǎn)過程中溫度變化要恒定,可采取風(fēng)冷、間接水冷、直接水冷的方式對金屬型進(jìn)行冷卻;可在金屬型的工作表面噴刷涂料;可采用復(fù)砂金屬型;加強(qiáng)金屬型的排氣,采取一系列措施提高金屬型壽命。
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