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產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品價格 18000/臺 發(fā)貨期限 汽運 供貨總量 100 運費說明 3 型號 4240 鋸切能力 400*400 主電機 3 工作方式 液壓 整機質(zhì)量 1500 鋸床-10分鐘一捆,寶潤機械(西藏分公司)為您提供鋸床-10分鐘一捆的資訊,聯(lián)系人:趙宇飛,電話:13243367666、13243367666,QQ:446983936,發(fā)貨地:二七區(qū)長葛市鐘繇大道南段東辛莊社區(qū)。 西藏自治區(qū) 西藏自治區(qū)不僅有世界屋脊奇異的地質(zhì)地貌和獨特的自然風光，而且有別具一格的社會人文景觀，僅寺廟在歷史上盛時就有2700多座，還有不少宮殿、園林、城堡、要塞、古墓、古碑等。
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中國中科院物理所上海硅酸鹽研究所山東大學西安理工大學中國電子科技集團第四十六所等單位紛紛開展對SiC單晶的研究,在實驗室中已生長出英寸約mm)的SiC單晶。相對于近年來SiC單晶生長技術(shù)取得的突破,加工技術(shù)有待提高。SiC單晶在機械加工階段的關(guān)鍵工序為晶棒切片粗研磨精研磨拋光,研磨階段主要是為了去除切割刀痕及切割引起表面加工變質(zhì)層,降低表面粗糙度[]。其中,切片加工環(huán)節(jié)十分關(guān)鍵,初的成形加工,晶片總厚度偏差TTV)與翹曲度Warp)主要由切片工藝引起由于SiC單晶硬度高莫氏硬度為~,僅次于金剛石莫氏硬度)與脆性大的力學特性,使其切片加工難度很大,主要體現(xiàn)在:刀具磨損快,切割效率低,切片表面亞表面易出現(xiàn)微破碎缺陷。尤其是SiC單晶切片表面出現(xiàn)的異常深劃痕和凹坑等缺陷,直接影響后續(xù)研磨工序加工質(zhì)量,給磨拋工序帶來極大的工作量。目前,SiC單晶切片厚度已薄到mm[],尺寸增大和切片厚度變薄給SiC單晶切片加工帶來極大挑戰(zhàn)。SiC單晶金剛石線鋸切片技術(shù)傳統(tǒng)的小直徑晶體切片加工多采用外圓及內(nèi)圓切片技術(shù)。
針對以上問題,美國密歇根大學的SHIH等人采用WT年月第期第卷總第期金剛石與磨料磨具工程DiamondAbrasivesEngineeringFebNoVolSerial文章編號:X金剛石線鋸切割單晶硅表面缺陷與鋸絲磨損分析黃波,高玉飛,葛培琪,山東大學機械工程學院,濟南潔凈機械制造教育部重點實驗室,濟南摘要采用電鍍金剛石線鋸對單晶硅進行了鋸切實驗,使用掃描電子顯微鏡對單晶硅鋸切的表面缺陷與鋸絲失效機理進行了研究,分析了走絲速度和工件進給速度對鋸切單晶硅表面缺陷特征的影響。
采用常見的工件相對鋸絲平推的鋸切方式,鋸絲與晶棒的接觸長度隨著加工過程的推進是不斷變化的,如圖a)中的H。在保持整個鋸切過程中工藝參數(shù)不變的前提下,鋸切長度的變化可能會導致整個晶片表面質(zhì)量的不均勻性。分析發(fā)現(xiàn):線鋸鋸切的硅片表面缺陷主要有較長較深的溝槽較淺的斷續(xù)劃痕材料脆性去除留下的表面破碎及個別較大較深的凹坑。走絲速度增大,工件進給速度降低,鋸切材料的表面缺陷逐漸由以脆性破碎凹坑為主轉(zhuǎn),變?yōu)橐圆牧衔⑶邢魅コ粝碌乃苄杂蚣羟袦喜蹫橹?/div>
1 所示。主要由鋸頭、夾緊裝置(前、后夾緊虎鉗)、鋸頭升降導向桿、液壓和 PLC 電氣控制系統(tǒng)組成。依靠上述各相關(guān)部件動作配合，可完成鋸頭的上升、下降、快進、工進，以及鋸切材料的夾緊、送料等工作。其中鋸頭的主運動——鋸切直線運動，由 2.2KW 的電機驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動，用鋸帶帶動從動輪同步轉(zhuǎn)動，形成鋸切的直線運動。 2 液壓系統(tǒng)的設(shè)計 金屬帶鋸床液壓傳動系統(tǒng)如圖 2 所示。液壓傳動部分主要由電機、液壓泵，執(zhí)行元件為電磁換向閥 10、11、12、13，舉升油缸 17，前夾緊油缸 18、19，后夾緊油缸 20，送料油缸 21 等組成。其工作過程為： 油泵電機開啟，電磁閥 YV1 、YV9 得電動作，舉升油缸 17 推動鋸頭上升。PLC 控制系統(tǒng)檢 測到 SQ2 有輸入，電磁閥 YV2 得電動作，鋸頭快速下降，并在電氣控制控制下完成工進
2.2機械傳動部分的檢查與修理經(jīng)拆卸、清洗、檢查,裝配與調(diào)試,機械傳動部分的主傳動裝置、鋸帶張緊機構(gòu)、鋸帶導向機構(gòu)等運轉(zhuǎn)正常。2.3冷卻系統(tǒng)部分的檢查與修理經(jīng)拆卸、清洗、檢查,更換了老化的塑料軟管,并用管套專用夾對管道與塑料軟管進行固定。2.4液壓傳動部分的檢查與修理金屬帶鋸床液壓傳動系統(tǒng)包括液壓泵站、液壓控制閥和液壓油缸,主要用于實現(xiàn)鋸架的上升、下降、進給動作以及物料夾緊等。其要求液壓進給速度保持穩(wěn)定和無級調(diào)速,工件夾緊力的大小可根據(jù)工件的材質(zhì)、規(guī)格、形狀隨時進行調(diào)整,且整個系統(tǒng)有可靠的機械、電氣、液壓聯(lián)鎖,以確保切削和嚴格按一定的程序進行工作循環(huán)。2.4.1GZ4025B金屬帶鋸床液壓傳動系統(tǒng)運作原理經(jīng)實測繪制該鋸床液壓傳動系統(tǒng)原理圖如圖2所示。液壓系統(tǒng)壓力一般為1.8MPa~2.5MPa,其大小可以通過溢流閥PB10B的手柄進行調(diào)整,壓力大小可從壓力表上讀出。鋸條進給運動由升降油缸和單向調(diào)速閥組成的液壓循環(huán)系統(tǒng),控制鋸架下降速度從而控制鋸條的進給運動
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